iTomic MW Lite批量轻型系列ALD镀膜系统，设备以国产化零部件为主导，可满足高端研发和新工艺试量产需求，尤其适用于，新型太阳能电池以及显示行业应用。

1、采用最新自主设计开发的模块化自动平台与ALD反应腔；

2、实现可自由选择的半自动或全自动ALD系统；

3、满足各类晶圆尺寸（4、6英寸）的工艺需求，适用于客户高端研发和新工艺开发；

4、4寸晶圆可实现单批次装载450pcs；

5、薄膜均匀性优，可实现片内＜1.5%；

6、满足供应链高比率国产化需求。