ALD
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Atomic Layer Deposition,是一种可以将物质以单原子层形式一层一层地镀在基底表面的工艺
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CVD
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Chemical Vapor Deposition (化学气相沉积法),利用气态或蒸汽态的物质在气相或气固界面上发生反应生成固态沉积物的过程
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HJT
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Heterojunction with Intrinsic Thin Layer (具有本征薄层异质结),又称为HJT/SHJ,一种异质结太阳能电池
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High-k
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具有高k性质的材料可以比其他材料能够更好的存储电荷
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IBC
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Interdigitated Back Contact (叉型背接触电池),一种高效晶硅太阳能电池结构
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LED
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Light Emitting Diode (发光二极管),一种常用的发光器件,通过电子与空穴复合释放能量发光
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MEMS
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Micro Electro Mechanical System(微机电系统),是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统,其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统
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OLED
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Organic Light Emitting Diode,属于一种电流型的有机发光器件,是通过载流子的注入和复合而致发光的现象,发光强度与注入的电流成正比
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PEALD
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Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (等离子体增强原子层沉积),一种原子层沉积技术
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PECVD
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Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (等离子体增强化学气相沉积),CVD的一种,在沉积室利用辉光放电使其电离后在衬底上进行化学反应沉积的半导体薄膜材料制备和其他材料薄膜的制备方法
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PERC
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Passivated Emitter and Rear Cell,钝化发射极和背面电池技术,一种电池结构
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PVD
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Physical Vapor Deposition (物理气相沉积),利用物理过程实现物质转移,将原子或分子由源转移到基材表面上的过程
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SALD
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Spatial Atomic Layer Deposition (空间原子层沉积),一种原子层沉积技术
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TALD
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Thermal Atomic Layer Deposition (热原子层沉积),一种原子层沉积技术
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TOPCon
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Tunnel Oxide Passivated Contact,隧穿氧化物钝化接触,一种电池结构
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