1、具有标准的半导体级百级洁净间，千级，万级超净间，拥有安全可靠的特气供应系统，配备完善的安全报警装置；
2、具备半导体28nm及以上成熟节点工艺开发能力，并满足各类客户需求；
3、具备光伏TOPCon, HJT等关键技术节点工艺开发能力；

    • 可针对泛半导体，柔性电子，新能源等市场领域，安排定制化的样品可针对泛半导体，柔性电子，新能源等市场领域，安排定制化的样品Demo，兼容多种个性化载具，拥有多种样品、批量样品制备能力； 可针对泛半导体，柔性电子，新能源等市场领域，安排定制化的样品Demo，兼容多种个性化载具，拥有多种样品、批量样品制备能力； 

4、配备如膜厚仪、颗粒仪、应力仪、方阻仪、水氧阻隔测量设备等多种测量仪器，满足自身及不同领域客户工艺表征需求。

    • 核心量测设备：核心量测设备： KLA SP3 颗粒仪、KLA F1膜厚仪、 Napson自动四探针、 FSM128L薄膜应力仪、 ECV、Olympus显微镜、Mocon水透仪等。核心量测设备： KLA SP3 颗粒仪、KLA F1膜厚仪、 Napson自动四探针、 FSM128L薄膜应力仪、 ECV、Olympus显微镜、Mocon水透仪等。